挤出失效监视器结构及其方法

摘要

本发明涉及挤出失效监视器结构及其方法。一种用于监视挤出失效的结构和方法。所述结构包括：具有第一和第二端的测试布线；接触所述测试布线的第一和第二端的第一和第二过孔；与所述测试布线电隔离并围绕所述测试布线的周边的第一监视器结构；以及在所述测试布线之上的第二监视器结构，所述第二监视器结构与所述测试布线电隔离，所述第二监视器结构在所述测试布线的至少所述第一端之上延伸。

主权项

一种挤出失效监视器结构，包括：导电测试布线，形成在衬底的顶表面之上的第一介质层中，所述测试布线的底表面面向所述衬底的所述顶表面，所述测试布线具有第一和第二端，所述测试布线的顶表面与所述测试布线的所述底表面相对；导电第一监视器结构，形成在所述第一介质层中，所述第一监视器结构的底表面面向所述衬底的所述顶表面，所述第一监视器结构与所述测试布线电隔离，所述第一监视器结构围绕所述测试布线的周边；导电第二监视器结构，形成在所述第一介质层之上的第二介质层中，所述第二监视器结构的底表面面向所述测试布线的顶表面，所述第二监视器结构与所述测试布线电隔离，所述第二监视器结构在所述测试布线的所述第一端之上延伸；以及导电第一和第二过孔，(i)位于所述衬底的所述顶表面与所述测试布线之间，所述第一过孔在所述第一端处物理和电接触所述测试布线的所述底表面，以及所述第二过孔在所述第二端处物理和电接触所述测试布线的所述底表面，或者(ii)位于所述测试布线与第一和第二监视器结构之间，所述第一过孔在所述第一端处物理和电接触所述测试布线的所述顶表面，以及所述第二过孔在所述第二端处物理和电接触所述测试布线的所述顶表面。