Sputter coating system and method of sputter coating,申请号EP20050256564-传众专利搜索

发明名称	Sputter coating system and method of sputter coating
摘要
申请公布号	EP1650324(B1)	申请公布日期	2011.12.28
申请号	EP20050256564	申请日期	2005.10.22
申请人	PLASMA QUEST LIMITED	发明人
分类号	C23C14/34;C23C14/35;H01J37/32	主分类号	C23C14/34
代理机构		代理人
主权项
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