| 发明名称 | 一种SMIF及其锁紧装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型提出了一种SMIF的锁紧装置，所述SMIF用于承载晶盒，所述SMIF的锁紧装置包括传动元件以及与所述传动元件连接的第一转轴和第二转轴，SMIF的锁紧装置还包括一弹性元件，所述弹性元件的一端与所述传动元件固定连接，所述弹性元件的另一端为自由端，所述自由端位于所述传动元件与所述晶盒的外壳之间。本实用新型还提出了一种SMIF，用于承载晶盒，所述SMIF包括感应装置以及上述的SMIF的锁紧装置。本实用新型提供的SMIF的锁紧装置，通过与传动元件连接的弹性元件，在传动元件转动时，弹性元件会对Pod进行推压，使Pod固定在SMIF的某个位置，Pod在SMIF上具有固定的位置，避免了Pod在晶圆位置正常的情况下触发SMIF中的感应装置。 | ||
| 申请公布号 | CN202094099U | 申请公布日期 | 2011.12.28 |
| 申请号 | CN201120181263.9 | 申请日期 | 2011.05.31 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 陈雄博;成亮;牛正基;戚纯洁;张华 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种SMIF的锁紧装置，所述SMIF用于承载晶盒，所述SMIF的锁紧装置包括传动元件以及与所述传动元件连接的第一转轴和第二转轴，其特征在于，还包括一弹性元件，所述弹性元件的一端与所述传动元件固定连接，所述弹性元件的另一端为自由端，所述自由端位于所述传动元件与所述晶盒的外壳之间。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区上海市张江路18号 | ||