| 主权项 |
一种测试装置，是测试被测器件的测试装置，包括；根据所给与的时序信号，将所述被测器件的测试用测试图案提供给所述被测器件的多个测试模块、生成基准时钟的基准时钟生成部、对应所述多个测试模块设置，根据所述基准时钟生成所述时序信号，将所述时序信号提供给各个对应的所述测试模块的多个时序供给部、根据各个所述测试模块接受所述时序信号后，到输出所述测试图案为止的各个所述测试模块的延迟量，控制各个所述时序供给部输出所述时序信号的时序，以使所述多个测试模块输出的各个所述测试图案的时序大致相同的控制部，所述时序供给部具有通过让所述基准时钟延迟，生成所述时序信号的延迟电路部；所述控制部，根据各个所述测试模块的所述测试模块延迟量、和与该测试模块对应的所述延迟电路部的偏移延迟量，分别控制各个所述延迟电路部中的延迟设定值，所述控制部具有：系统构成存储部，预先存储表示各个所述测试模块的种类、和与各个所述测试模块对应的所述时序供给部的种类的系统构成信息；模块信息存储部，预先存储每种所述测试模块的所述测试模块延迟量、每种所述时序供给部的所述偏移延迟量；运算部，根据所述系统构成存储部存储的所述系统构成信息，从所述模块信息存储部检测出各个所述测试模块的所述测试模块延迟量和与该测试模块对应的所述时序供给部的所述偏移延迟量，根据检测出的每个所述测试模块的延迟量及所述偏移延迟量，计算出应该在每个所述延迟电路部设定的所述延迟设定值。 |
