| 发明名称 | 抗蚀剂剥离剂组合物以及使用该组合物的抗蚀剂剥离方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供即使在溶解有抗蚀剂的状态下也得到充分的剥离性能的、可以长期使用的抗蚀剂剥离剂组合物以及使用该组合物的抗蚀剂剥离方法，所述抗蚀剂剥离剂组合物含有下式(1)所示的酰胺类溶剂(A)和有机胺化合物(B)，所述抗蚀剂剥离方法的特征在于，使用该抗蚀剂剥离剂组合物。(式中，R<sup>1</sup>为碳原子数为1～6的直链状、支链状或环状烷基，R<sup>2</sup>和R<sup>3</sup>分别独立地为碳原子数为1～3的直链状或支链状烷基。n为0～2的整数。)<img file="201080006366x100004dest_path_image002.GIF" wi="328" he="135" /> | ||
| 申请公布号 | CN102301283A | 申请公布日期 | 2011.12.28 |
| 申请号 | CN201080006366.X | 申请日期 | 2010.01.29 |
| 申请人 | 出光兴产株式会社 | 发明人 | 藤冈东洋藏;山崎勇人 |
| 分类号 | G03F7/42(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/42(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 蔡晓菡;高旭轶 |
| 主权项 | 1.抗蚀剂剥离剂组合物，其含有下式(1)所示的酰胺类溶剂(A)和有机胺化合物(B)，[化学式1]<img file="890068DEST_PATH_IMAGE001.GIF" wi="192" he="79" />(式中，R<sup>1</sup>是碳原子数为1～6的直链状、支链状或环状烷基，R<sup>2</sup>和R<sup>3</sup>分别独立地是碳原子数为1～3的直链状或支链状烷基，n为0～2的整数)。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||