发明名称 LITHOGRAPHIC APPARATUS AND A METHOD OF OPERATING THE APPARATUS
摘要 <p>테이블, 셔터 부재, 유체 핸들링 구조체 및 유체 추출 시스템을 포함하는 리소그래피 투영 장치가 개시된다. 유체 핸들링 구조체는 투영 시스템과 (ⅰ) 기판, 또는 (ⅱ) 테이블, 또는 (ⅲ) 셔터 부재의 표면, 또는 (ⅳ) (ⅰ) 내지 (ⅲ)으로부터 선택된 여하한의 조합 사이에 액체를 공급하고 한정하도록 구성될 수 있다. 셔터 부재의 표면은 테이블의 표면과 인접하고, 같은 평면에 있을 수 있다. 셔터 부재 및 테이블의 표면들은 갭에 의해 떨어져 이격될 수 있다. 유체 추출 시스템은 갭으로부터 액체를 제거하도록 구성될 수 있다.</p>
申请公布号 KR101099059(B1) 申请公布日期 2011.12.26
申请号 KR20090047171 申请日期 2009.05.28
申请人 发明人
分类号 G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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