发明名称 ANTORCHA DE PLASMA DE INDUCCION DE MULTIPLES BOBINAS PARA UNA FUENTE DE ALIMENTACION DE ESTADO SOLIDO.
摘要 Una antorcha de plasma de inducción que comprende: - un cuerpo tubular (2) de antorcha que tiene unos extremos proximal (3) y distal (5), y que incluye una superficie cilíndrica interior que tiene un primer diámetro; - un tubo (39) de confinamiento de plasma (a) fabricado de un material que tiene una elevada conductividad térmica, (b) que define una cámara axial (70) en la que está confinado un plasma a elevada temperatura, y (c) que incluye una superficie cilíndrica exterior que tiene un segundo diámetro ligeramente menor que el primer diámetro; - cuyo tubo (39) de confinamiento de plasma está montado dentro del cuerpo tubular (2 ) de antorcha, y las superficies cilíndricas exterior e interior que son coaxiales, para definir entre dichas superficies interior y exterior una cámara anular delgada (45) de espesor uniforme; - una cabeza (30) distribuidora de gas fijada al extremo proximal (3) del cuerpo (2) de antorcha para suministrar al menos una sustancia gaseosa al interior de la cámara axial (70) definida por el tubo (39) de confinamiento de plasma; - un dispositivo de suministro de fluido de refrigeración conectado a la cámara anular delgada (45) para establecer un flujo de gran velocidad de un fluido de refrigeración en dicha cámara delgada anular (45), contribuyendo tanto la elevada conductividad térmica del material que forma el tubo de confinamiento (39) como el flujo de gran velocidad del fluido de refrigeración a la transmisión eficaz de calor del fluido de refrigeración para de ese modo refrigerar eficazmente el tubo de confinamiento (39); - una primera fuente de alimentación (48) que tiene una salida de frecuencia más alta; - una segunda fuente de alimentación (50) que tiene una salida de frecuencia más baja que incluye unos terminales primero y segundo (51, 53); - una serie de bobinas de inducción (4, 12, 14, 16) fijadas al cuerpo tubular (2) de antorcha generalmente coaxiales con dicho cuerpo tubular (2) entre los extremos proximal (3) y distal (5) del cuerpo (2) de antorcha, cuya serie de bobinas de inducción comprende: - una primera bobina de inducción (4) conectada a una salida de frecuencia más alta de una primera fuente de alimentación para aplicar energía por inducción a la como mínimo una sustancia gaseosa suministrada a la cámara axial (70); y - una pluralidad de segundas bobinas de inducción (12, 14, 16) entre la primera bobina de inducción (4) y el extremo distal (5) del cuerpo tubular (2) de antorcha, cuyas segundas bobinas de inducción (12, 14, 16) tienen unos terminales respectivos (11 y 13, 15 y 17, 25 y 27); y - un circuito de interconexión (52) interpuesto entre (a ) los terminales primero (51) y segundo (53) de una salida de frecuencia más baja de la segunda fuente de alimentación (50) y (b) los terminales de las segundas bobinas de inducción (12, 14, 16), para conectar las segundas bobinas de inducción (12, 14, 16) en una disposición en serie o en paralelo entre dichos terminales primero y segundo (51, 53) con el fin de: adaptar sustancialmente una impedancia de entrada de la segunda bobina de inducción con una impedancia de salida de la segunda fuente de alimentación (50); y aplicar energía por inducción a dicha al menos una sustancia gaseosa suministrada al interior de dicha cámara axial (70).
申请公布号 ES2371022(T3) 申请公布日期 2011.12.26
申请号 ES20020764463T 申请日期 2002.10.04
申请人 TEKNA PLASMA SYSTEMS, INC. 发明人 BOULOS, MAHER;JUREWICZ, JERZY
分类号 G01N21/73;H05H1/30;H05H1/00 主分类号 G01N21/73
代理机构 代理人
主权项
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