发明名称 HYDROGEN GAS SENSOR USING METAL OXIDE NANO PARTICLES AND CATALYST AND ITS FABRICATION METHOD
摘要 <p>본 발명은 Sn, Zn, Al, Si, In, Ti, Cr, Fe, Ni의 금속 중 선택된 적어도 어느 하나의 산화물로 이루어진 다수의 나노입자를 형성하는 공정, 상기 다수의 금속산화물 나노입자 사이에 수소와의 반응을 위한 촉매제로서 금속 나노입자를 합성시키는 공정 및 상기 다수의 금속산화물 나노입자에 다수의 금속 나노입자를 합성시킨 결과물을 전극이 형성된 기판상에 분산시키는 공정을 포함하는 수소센서 제조방법을 제공하며, 동시에 이 제조방법에 의해 제조된 수소센서를 제공한다.</p>
申请公布号 KR101098074(B1) 申请公布日期 2011.12.26
申请号 KR20090035117 申请日期 2009.04.22
申请人 发明人
分类号 B82B3/00;B82Y15/00;G01N27/12;H01L51/00 主分类号 B82B3/00
代理机构 代理人
主权项
地址