| 摘要 |
<p>인터페이스블록의 세정가열블록에서, 노광처리 전의 기판이 제6 센터로봇에 의해 반송되고, 노광처리 후의 기판이 제7 센터로봇에 의해 반송된다. 또한, 인터페이스블록의 반입반출블록에서, 인터페이스용 반송기구의 핸드가 각각 독립적으로 구동되어, 노광처리 전의 기판이 핸드에 의해 반송되고, 노광처리 후의 기판이 핸드에 의해 반송된다. 즉, 인터페이스블록에서, 노광처리 전의 기판의 반송경로와, 노광처리 후의 기판의 반송경로가 각각 독립적으로 확보되어 있다.</p> |
