| 摘要 |
<p>기판 처리 장치는 기판을 연마하는 기판 연마부, 기판을 세정하는 기판 세정부, 기판을 수납하는 버퍼부, 및 기판을 이송하는 기판 이송 부재를 구비한다. 기판 세정부는 기판 연마부의 상부에 설치되고, 기판 이송 부재는 기판 연마부와 기판 세정부 및 버퍼부 간에 기판을 이송한다. 기판 이송 부재는 수직 이동 및 수평 이동이 가능하고, 기판이 안착되는 적어도 하나의 픽업 핸드를 구비한다. 이와 같이, 기판 처리 장치는 기판 연마부의 위에 기판 세정부가 설치되므로, 풋 프린트를 감소시키고, 기판 이송에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있다.</p> |
