SURFACE INSPECTING METHOD AND SURFACE INSPECTING DEVICE
摘要
<p>레이저 보수 장치는 레이저 광원과 광학 시스템을 포함하고, 레이저 광을 발광하는 레이저 시스템과, 상기 레이저 시스템으로부터 발광된 상기 레이저 광을 전송하는 광전송 디바이스와, 상기 광전송 디바이스에 의해 전송된 레이저 광을 대상 부분에 조사하는 레이저 조사 디바이스를 포함한다. 상기 레이저 시스템은 상기 레이저 광의 조사 상태를 변경시키기 위한 소자를 포함한다.</p>
