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<p>레시피의 천이 상황을 확실하게 알릴 수 있는 기판 처리 장치를 제공한다.기판 처리 장치는 복수의 레시피를 격납하는 레시피 격납 수단과, 상기 복수의 레시피 중 임의의 레시피를 실행시키는 실행 지시를 접수하는 표시 제어 수단과, 상기 표시 제어 수단에 의해 지시된 상기 임의의 레시피를 조작 화면에 표시하는 표시 수단을 구비하는 제1 제어 수단과, 상기 제1 제어 수단으로부터의 제어 지시에 따라서 상기 임의의 레시피를 실행하는 제2 제어 수단을 포함하는 기판 처리 장치로서, 상기 임의의 레시피를 실행 중에 상기 레시피 격납 수단에 격납된 다른 레시피를 실행시키는 실행 지시를 받으면, 상기 임의의 레시피와 상기 다른 레시피와 함께 상기 다른 레시피를 실행시키는 실행 지시가 발생한 요인을 상기 조작 화면에 표시하는 것을 특징으로 한다.</p> |
