| 摘要 |
<p>본 발명은 반도체제조장치나 액정장치, 화학약품제조장치, 식품생산라인 등에 이용되는 튜브디바이스 및 그 튜브디바이스를 포함하는 배관시스템에 관한 것으로서, 튜브 디바이스는, 케이싱과 유니언 너트를 구비하며, 상기 케이싱은, 합성수지제의 튜브와, 상기 튜브의 단부를 받아들이는 주둥이부(8)와 상기 주둥이부 내에 설치된 적어도 1개의 시일면(42)을 각각 구비한 1쌍의 합성수지제의 덮개부재(5)와, 상기 튜브의 직경확대부(43)가 형성된 일단부 및 타단부에 각각 외부에서 끼워지는 동시에, 상기 덮개부재의 상기 주둥이부를 구비한 일단부에 각각 나사결합되는 1쌍의 합성수지제의 유니언너트(6)를 구비하고, 상기 덮개부재(5)는 상기 케이싱을 구성하는 튜브 연결부(A)와, 상기 케이싱에 유체를 도입하거나 유출하는 튜브 연결부(B)와, 상기 디바이스에 유체를 도입하거나 유출하는 튜브 연결부(C)를 구비하며, 상기 유니언너트는, 상기 덮개부재의 일단부로의 나사 전진에 의한 체결에 의해 상기 튜브를 외측으로부터 밀어누르고, 이 밀어누름작용에 의해 상기 튜브의 직경확대부(43)와 상기 덮개부재의 시일면(42)이 밀착함으로써 적어도 1군데에 시일부(44)가 형성되는 것을 특징으로 한다.</p> |
