| 摘要 |
<p>본 발명은 기판 코터 장치의 노즐 캐리어에 관한 것으로, 슬릿 노즐을 운반하는 노즐 캐리어를 구비한 기판 코터 장치에 있어서, 상기 노즐 캐리어는 상기 노즐 조립체의 하부에 위치한 상태로 상기 노즐 조립체에 결합되고, 이동 방향에 수직한 방향의 단면은 상판과 하판과 이들을 연결하는 연결판으로 이루어진 'ㄷ'자 형상을 포함하되, 상기 상판과 상기 하판은 서로 마주보는 상판돌출부와 하판돌출부가 상기 연결판과 결합된 위치로부터 일측 방향으로 돌출되어, 서로 마주보는 상기 상판돌출부와 상기 하판돌출부를 연결하는 기둥재가 개재되도록 구성됨으로써, 'ㄷ'자 형상의 노즐 캐리어를 제작함에 있어서 상판과 하판의 사이를 연결판으로만 연결했던 종래와 달리, 'ㄷ'자 형상의 노즐 캐리어에 편심력이 작용하여 뒤틀리는 힘이 작용하더라도, 상판과 하판이 연결재로만 상호 연결되지 않고 연결재의 일측에 기둥재로 상호 결합되므로, 상판과 하판의 상대적인 뒤틀림 변위에 대하여 보다 견고하게 지지할 수 있으며, 조립 공정 및 보수 공정에서 노즐을 제어하는 신호선의 처리가 용이해지고, 세련되고 깔끔한 외관을 구성할 수 있도록 하는 기판 코터 장치의 노즐 캐리어를 제공한다.</p> |
