AIR-BEARING DEVICE

摘要

Bei einer Luftlagereinrichtung, mit wenigstens einem Lagerkörper, (12, 13), der eine Vielzahl von an einer Lagerfläche (14, 15) des Lagerkörpers (12, 13) ausmündende Ausströmkanäle (16) aufweist, durch die hindurch Druckluft leitbar ist, wobei die Lagerfläche (14, 15) mit einer ihr zugewandten Gegenfläche (18, 19) eines Substratkörpers (25) derart zusammenwirkt, dass zwischen Lagerfläche (14, 15) und Gegenfläche (18, 19) durch die ausströmende Druckluft ein Luftpolster (20, 21) erzeugbar ist, das einen Lagerspalt (22, 23) hervorruft, wodurch die beiden Flächen entsprechend einer Spaltweite des Lagerspalts (22, 23) mit Abstand zueinander angeordnet sind, ist der Lagerkörper als erster Lagerkörper Bestandteil einer pneumatischen Spanneinrichtung (40), die zusätzlich einen zweiten Lagerkörper (13) mit einer Vielzahl von einer zweiten Lagerfläche (15) des zweiten Lagerkörpers (13) ausmündenden Ausströmkanäle (16) aufweist, wobei die beiden Lagerflächen (14, 15) einander gegenüberliegen und der Substratkörper (25) derart zwischen den Lagerflächen (14, 15) positionierbar ist, dass er durch die beiden zwischen den Lagerflächen (14, 15) und den jeweils zugeordneten Gegenflächen (18, 19) erzeugten Luftpolster (20, 21) diesseits und jenseits des Substratkörpers (25) in gewünschter Position in Richtung senkrecht zu den Lagerflächen (14, 15) pneumatisch festspannbar ist.