plane feed apparatus

摘要

본 발명의 주요 특징은, 베이스; 상기 베이스 상에 위치하는 캐리어; 상기 캐리어를 4방향으로 탄력지지하는 플렉서블 지지체; 및 상기 플렉서블 지지체의 당김력을 조절하여 상기 캐리어의 이동위치를 제어하는 컨트롤러;를 포함하여 구성된 것이다.