Verfahren zum Herstellen von Diamantschichten und mit dem Verfahren hergestellte Diamanten

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von Diamantschichten, wobei zunächst in einem ersten Wachstumsschritt auf eine Wachstumsoberfläche eines (001)-off-axis- oder eines (111)-off-axis Heterosubstrates Diamant so aufgewachsen wird, dass eine Texturbreite, insbesondere einer polaren und/oder azimutalen Texturbreite, einer durch das Aufwachsen entstehenden Diamantschicht mit zunehmendem Abstand vom Substrat abnimmt und dann in einem zweiten Wachstumsschritt Diamant so aufgewachsen wird, dass die Texturbreite der Diamantschicht mit weiter zunehmendem Abstand vom Substrat im Wesentlichen konstant bleibt, wobei (001) bzw. (111)-Netzebenen des Substrates gegenüber der Wachstumsoberfläche um einen Winkel größer als Null geneigt sind.