Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Werkstücken

摘要

Die Vorrichtung dient zur Plasmabehandlung von Werkstücken. Das Werkstück wird in eine zumindest teilweise evakuierbare Kammer einer Behandlungsstation eingesetzt. Die Plasmakammer ist von einem Kammerboden, einem Kammerdeckel sowie einer seitlichen Kammerwandung begrenzt. Die Plasmakammer ist mit einer Einrichtung zur steuerbaren Zuführung und/oder Ableitung von Prozeßgasen gekoppelt. Die Plasmakammer ist darüber hinaus auf einem rotationsfähigen Plasmarad angeordnet, das von einem stationären ndestens ein Prozeßgaskanal angeordnet, der mindestens bereichsweise von einer Abdeckung begrenzt ist. Die Abdeckung ist als Teil des Plasmarades ausgebildet und weist mindestens eine Verbindungsöffnung zum Prozeßgaskanal auf. Die Verbindungsöffnung ist über einen Verbindungskanal und mindestens ein Steuerventil mit einem Innenraum der Plasmakammer koppelbar.