Reaktive nanopartikuläre Cyclodextrinderivate als porenbildende Matrizen, diese enthaltende dielektrische Matrix und ultragering dielektrische Zusammensetzung, sowie unter deren Verwendung hergestellte gering und ultragering dielektrische Filme

摘要

Reaktives nanopartikuläres Porogen auf der Grundlage von als ein Porogen verwendbarem Cyclodextrinderivat der folgenden Formel 1,worin R gleiche bzw. verschiedene C1-6-Alkylgruppen repräsentiert und worin n eine ganze Zahl von 6 bis 12 ist.