Fixing method of PDMS electrode for MEMS with Polyimide

摘要

이에 따라 본 발명은 금속으로 된 전극이 PDMS 내층에서 고정화되는 것이어서 생체에 직접 접촉된 상태가 지속되어 수분이나 기체가 연속 투과됨에도 불구하고 전극이 PDMS 내층에서 안정적으로 유지되어 생체 신호의 모니터링 등 각종 기능을 원활하게 수행할 수 있게 되므로 신뢰성 높은 데이터를 제공할 수 있게 되는 효과가 있다.