| 摘要 |
<p>본 발명은 적층형 압전 액츄에이터용 후막에 관한 것으로서, 전극이 코팅된 기판 위에 판상 형태의 템플릿 세라믹층을 증착하고, 그 상층에 압전 세라믹 모조성층을 증착한 후, 그 상층에 다시 템플릿 세라믹층을 증착하여 고온소결하여 제작되는 것을 특징으로 하는 적층형 압전 액츄에이터용 후막 제조방법 및 이에 의해 제조된 적층형 압전 액츄에이터용 후막을 기술적 요지로 한다. 이에 의해 판상 형태의 템플릿 세라믹층 사이에 형성되는 상기 압전 세라믹 모조성층은 고온 소결 과정 중에 상기 템플릿 세라믹층의 판상 형태에 대응되어 평행하게 결정 배향되어 형성되며, 상기 압전 세라믹 모조성층 상층부의 템플릿 세라믹층은 압전 세라믹 모조성층 성분 중의 휘발성 성분의 휘발을 방지하게 되어 보다 치밀한 미세구조를 갖도록 함으로써, 저전압 구동을 위한 성능이 우수한 적층형 압전 액츄에이터용 후막을 제공할 수 있는 이점이 있다.</p> |
