MICRO CONTACT PROBE FOR PROBE CARD COATED WITH CARBON NANO TUBE AND FEBRICATION METHOD THEREOF

摘要

표면에 카본 나노 튜브가 코팅된 본 발명의 미세 접촉 프로브에 의하면, 프로브와 반도체 칩 사이의 접촉저항이 낮아지고 고주파 특성이 향상되어 더욱 정확한 측정이 가능하게 된다.