发明名称 应用于无尘空间建构器之装置及方法
摘要
申请公布号 TWI354580 申请公布日期 2011.12.21
申请号 TW095121811 申请日期 2006.06.16
申请人 富特法公司 美國 发明人 佛莱德烈A 弗利奇
分类号 B01L1/04 主分类号 B01L1/04
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 一种建构器,其包含:一一级无尘空间,其定位在一外壁与一内壁之间;一气源,其用于经由该无尘空间在一预定单一方向上提供气流;两个或两个以上之凸缘,每一凸缘密封至在该外壁与该内壁之至少之一者中的一个别开口,每一该凸缘额外可密封至包含一埠及一主体的一建构工具,其中每一密封件促进空气容置在该一级无尘空间内且能够定位被堆叠于垂直维度上的两个或两个以上的建构工具,每一建构工具之埠在该一级无尘空间内且每一建构工具之主体在该一级无尘空间之外。
地址 美国