自重式基板定位校正结构

主权项

一种自重式基板定位校正结构，包含：一框架，具有一开口，且该框架包含：一底边，该底边系自一水平面倾斜一第一夹角；二侧臂，大致平行配置，且该二侧臂各自的一端连接于该底边之相对两侧，使该二侧臂各自的另一端之间形成该框架之该开口，用以让一基板由该开口进入该框架；以及复数个支撑件，位于至少一该底边及该二侧臂之内侧；以及至少一座脚，用以支撑该框架；其中该底边具有一最低点，用以定义一机械手臂与该基板间之相对位置。