发明名称 探针装置
摘要
申请公布号 TWI354794 申请公布日期 2011.12.21
申请号 TW094106464 申请日期 2005.03.03
申请人 東京威力科創股份有限公司 日本 发明人 野口政幸
分类号 G01R1/04;G01R1/067 主分类号 G01R1/04
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 一种探针装置,其特征为,具备有:测试机(T)、探针卡(17)、底座卡架(13)、将该探针卡(17)安装在该底座卡架(13)上用的卡架(20)、以及构成为该卡架(20)和该底座卡架(13)之间居中连接的转换环(16),在该卡架(20)上载置探针卡(17),将载置着该探针卡(17)的卡架(20)载置于转换环(16)上,并将载置着该卡架(20)的转换环(16)载置于底座卡架(13)上,该测试机(T),更具备:电连接于探针卡(17)用的连接环(15),及将该连接环(15)安装于插入环(14)用的内部环(18),在此,该内部环(18)为从复数种内部环当中选出来适于该连接环(15)的内部环(18),该插入环(14)构成能够接纳各该复数种的内部环,该底座卡架(13)构成能够接纳各复数种的转换环,该转换环(16)为该等复数种转换环16当中选出来适于该探针卡(17)的转换环(16)。
地址 日本