发光二极体结构及其制造方法

主权项

一种发光二极体结构之制造方法，至少包括：提供一原生基板；形成一第一缓冲层于该原生基板上，其中该第一缓冲层之材料为氧化物或氮化物，且该第一缓冲层之一表面设有一第一图案结构；形成一发光磊晶结构于该第一缓冲层之该表面上，以使该发光磊晶结构之一表面与该第一缓冲层之该表面接合，而使该发光磊晶结构之该表面具有一第二图案结构，其中该发光磊晶结构系一氮化镓相关材料磊晶结构；形成一黏着层于该发光磊晶结构上；设置一高导热基板于该黏着层上；以及对该第一缓冲层进行一湿蚀刻步骤，以移除该第一缓冲层与该原生基板，而暴露出该发光磊晶结构之该表面。