具双频响应之薄膜体声波共振器之制造方法及其结构

主权项

一种具双频响应之薄膜体声波共振器之制造方法，其包含：提供一溅镀设备，该溅镀设备系至少具有一溅镀腔室、一设置于该溅镀腔室之倾斜载具以及至少一对应该倾斜载具而设置之靶材，该倾斜载具系具有一倾斜面及定义有一垂直该倾斜面之第一铅垂线，该靶材系具有一对应该倾斜面之表面及定义有一垂直该表面之第二铅垂线，该第一铅垂线与该第二铅垂线之间系具有一第一夹角；设置一基板于该溅镀设备之该倾斜载具之该倾斜面，该基板系具有一上表面、一相对于该上表面之下表面以及定义有一垂直该上表面之法线，该法线系与该倾斜载具之该第一铅垂线平行，且一第一电极层系形成于该基板之该上表面；溅镀该靶材以产生复数个溅射靶原子(分子)，该些溅射靶原子(分子)系沈积于该第一电极层上以形成一压电薄膜，该压电薄膜系具有一晶格排列方向，该晶格排列方向与该基板之该法线之间系具有一第二夹角；以及形成一第二电极层于该压电薄膜上。