| 主权项 |
一种电浆产生装置，其系包含：一真空室，其系具有一中空内部而且顶部是用一在中央具有通孔的真空吸附板密封，其中，上述真空室之框体的墙体在预定位置分成上半部及下半部，以控制在该静电夹盘(ESC)与该天线单元之间的电容，且上述真空室更包含一间隙嵌板，其系气密地安置在该等分开的墙体之间；一静电夹盘(ESC)，其系经配置成是在该真空室的内中心、接受一外部偏压射频(RF)、以及放置一基板于其上；一天线单元，其系在该真空室内配置成是在真空吸附板下面；一天线罩，其系覆盖及耦合于该天线单元的顶部、通过该真空吸附板的通孔暴露于外、在外缘有一气体入口、以及接受及传送一外部电源射频至该天线单元；以及一罩体固定器，被该天线罩耦合之该真空吸附板的上表面抓住，以及悬挂及固定该天线单元。 |
