接触微影术装置、系统及方法

主权项

一种接触微影术装置，包含：一罩幕，其具有一包含一微影图案之图案状区域；及一间隔件，其配置于该罩幕及一被图案化的基材之间，该间隔件系当该罩幕及该基材与该间隔件相互接触时提供该罩幕及该基材之一分开的平行且紧邻之定向，其中该罩幕、该基材及该间隔件之一或多者系可变形，故变形系有利于图案转移，该间隔件系附装至该基材上，该间隔件的一接触表面系易滑动于该罩幕及该基材的一者或两者之一接触表面上，可滑动性系由该等各别接触表面的一材料特征或藉由一施加至该等各别接触表面的低摩擦涂覆材料所提供。