探针单元及检查装置

主权项

一种探针单元，其特征为，具备：对检查对象板表面所设置的电路电极进行接触藉此传达检查讯号的探针组装体；及透过探针底座的印刷电路板使上述探针组装体和外部装置形成接电的连接电缆部，上述连接电缆部，具备：可使该连接电缆部固定在上述探针组装体侧的FPC板；执行伴随检查之处理的驱动用积体电路；及可传达供应至检查之电讯号的FPC电缆，上述驱动用积体电路是安装在上述探针底座的印刷电路板，上述FPC电缆是连接上述驱动用积体电路和上述探针组装体。