发光元件之制造方法

主权项

一种发光元件之制造方法，该发光元件，系具备有：透明导电性电极；和与该透明导电性电极相对向之对向电极；和被设置在前述透明导电性电极和前述对向电极之间的发光层；和以至少覆盖前述发光层的方式而设置的保护层，该发光元件之制造方法，其特征为：系具备有形成保护层之步骤，前述形成保护层之步骤，系具备有：藉由利用有微波激发电浆之低温气相成长，来形成氮化矽膜之步骤，前述氮化矽膜之膜厚，系为10nm以上，100nm以下。