简洁模型中氮化物衬层应力效应之布局基础调变及最佳化的方法

主权项

一种模型化一半导体电晶体装置之方法，该装置具有一或多个衬层薄膜提供电晶体应力效应，该方法包含步骤：a)转换一实体电晶体设计资讯表示，成为对应该电晶体的实际形状尺寸；b)转换该实际形状尺寸，成为由该一或多个衬层薄膜所提供的电晶体装置应力位准；以及c)产生简洁模型参数，用于模型化包含该电晶体装置之一电路，该简洁模型参数包括基于该计算的应力位准的模型参数，并且当模型化该电晶体装置时，用于量化应力效应的影响。