3B族氮化物晶体

摘要

以蓝宝石基板作为晶种基板，在其表面形成氮化镓薄膜，将其装入培育容器12中。再称取摩尔比25～32∶68～75的金属镓与金属钠装入培育容器12中。将此培育容器12放入反应容器20中，连结进气管22与反应容器20，介由压力控制器40从氮气瓶42中向反应容器20中填充氮气。然后，控制反应容器20内的氮气压使其达到所定值，设定各个目标温度使下层加热器46的温度高于上层加热器44，进行氮化镓晶体生长。由此可以获得晶粒尺寸大且位错密度小的3B族氮化物晶体。

主权项

1.一种3B族氮化物晶体，其晶粒尺寸为内含的圆的大小，该圆内的腐蚀坑密度的级别在10⁴/cm²以下。