光电集成三维电场传感器系统

摘要

本发明涉及光电集成三维电场传感器系统，属于电场测量技术领域，该系统包括激光源、保偏光纤耦合器、输入保偏光纤、起偏器、保偏尾纤、传感头、偏振分束器、输出单模光纤和光接收机。其中，激光源的输出端依次通过保偏光纤耦合器、输入保偏光纤、起偏器、保偏尾纤与传感头的输入端相连，传感头的输出端依次通过保偏尾纤、偏振分束器、输出单模光纤与光接收机的输入端相连。传感头为在与铌酸锂板的表面通过钛金属扩散形成三条平行贯穿的光波导；在第一光波导的表面两侧敷设垂直的偶极子天线和电极，在第三光波导的表面敷设屏蔽电极。本发明适用于检测三维电场，具有工艺简单，空间分辨率高的优点，可以实现抵近测量。

主权项

一种光电集成三维电场传感器系统，该系统包括激光源、保偏光纤耦合器、输入保偏光纤、起偏器、保偏尾纤、传感头、偏振分束器、输出单模光纤和光接收机。其中，激光源的输出端依次通过保偏光纤耦合器、输入保偏光纤、起偏器、第一段保偏尾纤与传感头的输入端相连，传感头的输出端依次通过第二段保偏尾纤、偏振分束器、输出单模光纤与光接收机的输入端相连。其特征在于，该传感头为在沿垂直光轴方向切割与沿平行光轴方向通光的铌酸锂板的表面通过钛金属扩散形成三条平行贯穿的光波导；在第一光波导的表面两侧敷设垂直的偶极子天线和电极，在第三光波导的表面敷设屏蔽电极。