超纯三氯氢硅制备的多级全热耦合精馏生产装置和工艺方法

摘要

本发明涉及超纯三氯氢硅采用全热耦合精馏的生产装置和工艺方法。通常对高纯度三氯氢硅原料液的提纯需要经过多次脱轻塔和脱重塔的处理，将原料液中的轻重杂质进一步除去，以得到超纯三氯氢硅。采用全热耦合精馏的生产工艺，通过两个全热耦合精馏塔的串联，使高纯三氯氢硅原料液在经过两次全热耦合之后，在二次塔的侧线实现三氯氢硅超纯浓度的提取，而原料液中的轻重杂质组分则分别从两塔的主塔塔顶和塔釜馏出。本发明的优点在于全热耦合精馏塔内，由一道间壁分为预分馏区和主塔区，两个区之间的气相与液相流股形成了能量耦合，节省了对外部能量的需求，减少了冷凝器和再沸器数量，大大降低能耗和设备投资，经济效益大幅提高。

主权项

一种超纯三氯氢硅制备的多级全热耦合精馏的生产装置，包括一次全热耦合精馏塔(1)和二次全热耦合精馏塔(2)。