模块化集成式可分区操作的大型真空装置

摘要

模块化集成式可分区操作的大型真空装置，包括真空机组和真空容器，真空容器包括模块、标准模块和端部模块，所述模块上设有舱门，模块的前后左右四面设有法兰接口；标准模块的前后两端设有与模块真空容器上的法兰相配合的法兰；端部模块的前端设有与延伸模块上的法兰相配合的法兰，端部模块的后端设有舱门；闸板阀置于需分区的模块与模块之间连接的法兰中间。本发明的有益效果是：模块间采用标准接口，可任意组合、互换集成为需要形状；可将不同的实验内容在同一个真空设备的不同分区中完成，减少投资，提高功效；系统组装简单方便，易于操作。可广泛应用于特种物质分离、航天、航空飞行器、空间环境、外星模拟及微波技术等领域。

主权项

模块化集成式可分区操作的大型真空装置，包括真空机组和真空容器，真空容器上设有观察窗(11)和输入输出窗口(10)，真空机组和真空容器通过真空管路连接，其特征在于所述真空容器包括中央模块(1)、标准模块(2、4)和端部模块(3、8、9)，所述中央模块(1)上设有舱门，中央模块(1)的前后左右四面设有法兰接口；所述标准模块(2、4)的前后两端设有与中央模块上的法兰相配合的法兰；所述端部模块(3、8、9)的前端设有与标准模块上的法兰相配合的法兰，端部模块(3、8、9)的后端设有舱门；所述模块化集成式可分区操作的大型真空装置还包括分区闸板阀(5)，分区闸板阀(5)置于需分区的中央模块(1)与标准模块(2、4)之间连接的法兰中间，或标准模块(2、4)与标准模块(2、4)之间连接的法兰中间，所述模块化集成式可分区操作的大型真空装置由中央模块(1)、标准模块(2、4)和端部模块(3、8、9)相互连接构成。