电容式真空压力传感器

摘要

本发明涉及的是一种由玻璃和合金材料合成的合成件为基件的用于真空压力测量的电容式压力传感器，它具有很强的牢固性和耐蚀性，为了使其具有很好的灵敏性，高精度地测量出不同压力段的压力值，采用了厚度(10-200微米)不等的，由耐蚀性弹性合金制成的“弹性膜片”，这些膜片被紧密地、对称和无应力地配置在一个由玻璃和合金材料合成的合成件中。

主权项

用于真空压力测量的电容式压力传感器其特征在于设有：带有一个用玻璃和耐蚀性合金的合成件制成的电容电极体(1)，以固定的并保持一定位移距离的，在其边缘处密封布置的，由耐蚀性合金制成的压力感受膜片(2)，这样在其间构成了一个基准真空室(18)，其中电容电极体(1)和膜片(2)固定地并保持一定位移距离地玻璃表面涂有金属导电层，就构成了测量电容，由耐蚀性合金制成的第二壳体(3)对膜片(2)在边缘处密封布置并与其形成了一个真空压力测量室(19)，连接管(6)导入该室与被测介质连通。