电容式多轴加速度计

摘要

一种电容式多轴加速度计，其主要是在基板上的支撑基座间设有第一质量块，此第一质量块是透过两悬臂以非对称的方式悬挂设置在支撑基座上，以感测垂直于基板方向的第一方向加速度；在第一质量块内，设置有第二质量块，此第二质量块是透过弹簧组被悬挂设置在第一质量块上，以感测平行于基板方向的第二方向加速度；在第二质量块内，亦可设置有第三质量块，此第三质量块透过弹簧组被悬挂设置在第二质量块上，以感测第三方向的加速度。其中，第一方向、第二方向和第三方向彼此正交。本发明可有效提高电容式多轴加速度计的线性度、降低它轴的灵敏度与感测结构的尺寸，优越的性能将满足例如游戏机、手机与3D指向器等消费性产品和传统汽车安全应用的需求。

主权项

一种电容式多轴加速度计，至少包括：基板；以及半导体结构层，配置在该基板上，并与该基板有间距分离，而该半导体结构层包括：支撑基座，被固定在该基板；多个独立弹簧组，至少包括第一独立弹簧组和第二独立弹簧组；第一质量块，其透过该第一独立弹簧组以非对称的方式悬挂设置在该支撑基座，且沿第一方向具有转动轴，使该第一质量块在第二方向上呈现不对称性，并在该第一质量块在第三方向受力时，将以该转动轴为中心转动；第二质量块，透过该第二独立弹簧组被悬挂设置在该第一质量块上，而该第二质量块可以感测在该第一方向或该第二方向上的加速度大小，而对应地沿该第一方向或是该第二方向平移；以及至少一梳状电容组，配置在该半导体结构层中，该梳状电容组包含第一梳状电容组，其配置在该第二质量块的侧面，该第一梳状电容组与至少一个第一固定感测电容板组成梳状电容，其中该第一固定感测电容板固设于该基板上。