一种采用六边形束斑的激光扫描退火方法

摘要

本发明公开了属于半导体制造技术范围的一种采用六边形束斑进行激光扫退火的方法。所述六边形的激光束斑，通过在光路中两两相对放置的四块可以独立活动的挡板机构来实现，即上挡板和下挡板为独立或同步地移动；左挡板和右挡板为独立或同步地移动，四块均为矩形挡板，其中上挡板和下挡板或者左挡板和右挡板相对的一边，各自开一V形开口，形成六边形的顶角A，顶A角顶点在中心线上。当六边形束斑的激光光束对晶圆片进行扫描退火时，令相邻的两扫描行相互重叠补偿，可避免传统逐行扫描过程中，行与行之间的过扫描和欠扫描现象，同时并不增加整机系统的实现难度和实现成本。

主权项

一种采用六边形激光束斑进行激光扫描退火的方法，其特征在于，所述六边形的激光束斑，通过在光路中两两相对放置的四块可以独立活动的挡板机构来实现，即上挡板(1)和下挡板(2)为独立或同步地移动；左挡板(3)和右挡板(4)为独立或同步地移动，四块均为矩形挡板，其中上挡板(1)和下挡板(2)或者左挡板(3)和右挡板(4)相对的一边，各自开一V形开口，形成六边形的顶角(A)，顶角(A)顶点在中心线上；因而经过扩束和匀束的激光光束在通过挡板机构后，束斑呈六边形(ABBAB1B1)；且六边形内部光强是均匀的。