| 发明名称 |
MULTILAYER FILM REFLECTION MIRROR, PRODUCTION METHOD FOR MULTILAYER FILM REFLECTION MIRROR, AND EXPOSURE SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1675164(B1) |
申请公布日期 |
2011.12.21 |
| 申请号 |
EP20040792501 |
申请日期 |
2004.10.15 |
| 申请人 |
NIKON CORPORATION |
发明人 |
KANDAKA, NORIAKI;MURAKAMI, KATSUHIKO;KOMIYA, TAKAHARU;SHIRAISHI, MASAYUKI |
| 分类号 |
H01L21/027;G02B5/08;G02B5/26;G02B5/28;G03F7/20;G21K1/06 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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