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发明名称
摘要
申请公布号	JP4842787(B2)	申请公布日期	2011.12.21
申请号	JP20060335761	申请日期	2006.12.13
申请人		发明人
分类号	H01L21/304;B08B3/10;H01L21/027	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
主权项
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