编码器、伺服单元及编码器的制造方法

摘要

本发明提供一种编码器、伺服单元及编码器的制造方法，能够利用衍射干涉光使分辨率提高，并使制造等变得容易。具体为，具有：圆盘(110)，具备形成有旋转格栅的环状第1码道(TA)及第2码道(TB)；以及第1检测部(130A)及第2检测部(130B)，固定配置为与第1码道及第2码道对置，具有固定格栅并检测衍射干涉光，第1码道的多个狭缝作为弯曲狭缝而形成，与第1码道对置的第1检测部被配置在第1码道的旋转格栅所包括的狭缝的切线(LINEA)相对于第2检测部所对置的位置上的狭缝的切线(LINEB)平行的位置上。

主权项

一种编码器，其特征在于，具有：圆板状圆盘，配置为可绕转轴旋转，具有分别形成有光学的旋转格栅的环状第1码道及第2码道；以及第1检测部及第2检测部，分别固定配置为与所述第1码道及第2码道对置，分别具有与对置的所述第1码道或所述第2码道的所述旋转格栅构成衍射干涉光学系统的光学的固定格栅，检测基于所述旋转格栅和所述固定格栅的衍射干涉光，所述第1码道的旋转格栅所包括的多个狭缝分别作为从放射状弯曲后的形状的弯曲狭缝而形成，与所述第1码道对置的所述第1检测部在所述第1码道的旋转格栅所包括的狭缝的切线相对于所述第2检测部所对置的位置上的所述第2码道的旋转格栅所包括的狭缝的切线平行的位置上，与所述第1码道对置配置。