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发明名称 Supporter and substrate supporting apparatus of ion implant machine and ion implant machine thereof
摘要
申请公布号 KR101097310(B1) 申请公布日期 2011.12.21
申请号 KR20090043097 申请日期 2009.05.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/687;H01L21/265 主分类号 H01L21/687
代理机构 代理人
主权项
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