紧凑式晶圆自动传输装置

摘要

一种紧凑式晶圆自动传输装置，它克服了现有技术无法在制程的狭小空间作复杂动作等缺点，包括机架、上料平台、风箱体和手臂机构，其技术要点是：手臂机构的升降、伸展电机不在一个平面上，下手臂通过平移机构和翻转机构连接抓取机构，并利用齿轮连杆传动机构驱动抓取机构绕轴线转动，抓取机构的抓取电机驱动夹爪往复移动，抓取机构上的定位机构设置可调定位块。其设计合理，在制程间传输运行平稳，动作灵活可靠，在有限行程空间内完成晶圆水平或垂直状态的自动传输的同时，实现晶圆匣左右平移和翻转，以适应在并列设置的制程设备中心距小于传输设备中心距的狭小空间内全部实现自动传输，并在遇到外界干涉时可挠性停止，达到精确控制的传输效果。

主权项

一种紧凑式晶圆自动传输装置，包括机架，固定在机架上的上料平台，组装在机架上作升降移动的带有扣爪机构的风箱体和作升降、伸展移动的带有抓取机构的手臂机构，其特征在于：作升降、伸展移动的所述手臂机构的手臂升降电机的轴线及其通过三号传动带连接的手臂升降螺杆的轴线所在平面与手臂伸展电机的轴线及其通过二号传动带连接的手臂传动轴的轴线所在平面角接，所述手臂机构的下手臂通过组装在一起的平移机构和翻转机构连接所述抓取机构，所述手臂机构的下手臂与所述平移机构的平移固定板铰接，所述平移机构的平移滑块与所述翻转机构的翻转基座固定在一起，所述抓取机构的固定板通过翻转轴铰接在所述翻转基座上，并利用组装在翻转基座上的齿轮连杆传动机构驱动所述翻转轴转动，带动所述抓取机构固定板绕翻转轴的轴线转动，设置在所述抓取机构的抓取电机通过涡轮蜗杆驱动抓取连杆带动夹爪沿所述抓取机构固定板的抓取滑轨往复移动，所述抓取机构上的定位机构设置可调定位块；所述平移机构的平移滑块固定在平移电机驱动的平移传动带上，并在平移传动机构的带动下，沿所述平移固定板的平移滑轨往复移动；铰接在所述翻转基座上的翻转轴固定在所述抓取机构固定板的两侧，所述翻转轴伸出翻转基座轴孔端与所述齿轮连杆传动机构中的翻转连杆的一端固定连接；所述齿轮连杆传动机构中的一对相啮合的小齿轮和大齿轮组装在所述翻转基座上，所述小齿轮组装在所述翻转基座的电机轴上，所述大齿轮侧面通过销轴铰接传动连杆的一端，传动连杆的另一端与固定连接在所述翻转轴端的翻转连杆的另一端铰接；驱动所述手臂机构作升降、伸展移动的手臂升降电机和手臂伸展电机分别固定在所述机架上和固定在沿机架的手臂升降双滑轨滑动的手臂升降基板上，所述手臂升降电机通过三号传动带和手臂升降螺杆驱动固定在手臂升降基板上的手臂升降螺母沿螺杆轴向往复移动，使手臂机构沿与机架的竖向作升降运动；所述手臂伸展电机通过减速机构、二号传动带驱动固定在上手臂上的手臂传动轴转动，手臂传动轴带动上手臂绕手臂固定轴摆动，通过手臂旋转轴与上手臂连接的下手臂在上手臂内部传动带的带动下绕上手臂摆动，通过手臂旋转轴与下手臂连接的平移机构在下手臂内部传动带的带动下绕下手臂摆动，使手臂机构沿与机架垂直方向作伸展运动。