采用激光跟踪仪测量非球面顶点曲率半径偏差的方法

摘要

采用激光跟踪仪测量非球面顶点曲率半径偏差的方法，涉及一种补偿检验中非球面顶点曲率半径偏差的测量方法，它解决现有非球面曲率半径的测量精度低、稳定性差，并且测量过程繁琐的问题，使补偿器、干涉仪和待检测非球面同轴；采用激光跟踪仪获得补偿器的光轴位置数据；根据光轴位置数据和补偿器的机械设计参数，获得补偿器后顶点的空间位置数据；采用激光跟踪仪测量待检测非球面的基准面数据，根据获得的基准面数据、机械设计参数和待检测非球面的设计参数，获得待测非球面顶点的空间位置数据；采用激光跟踪仪检测待检测非球面与补偿器之间的光学间隔，即待检测非球面顶点曲率半径的偏差。本发明测量时间短、精度高、通用性好。

主权项

采用激光跟踪仪测量非球面顶点曲率半径偏差的方法，其特征是，该方法由以下步骤实现：步骤一、调整补偿器(2)、干涉仪(1)和待检测非球面(4)的相对位置，使补偿器(2)、干涉仪(1)和待检测非球面(4)同轴；步骤二、采用激光跟踪仪(3)测量步骤一所述的补偿器(2)的基准面，获得补偿器(2)的光轴位置数据；步骤三、根据步骤二获得的光轴位置数据和补偿器(2)的机械设计参数，获得补偿器(2)后顶点的空间位置数据；步骤四、采用激光跟踪仪(3)测量待检测非球面(4)的基准面数据，根据获得的基准面数据、机械设计参数和待检测非球面(4)的设计参数，获得待测非球面(4)顶点的空间位置数据；步骤五、根据步骤三和步骤四获得的补偿器(2)后顶点的空间位置数据和待测非球面(4)顶点的空间位置数据，采用激光跟踪仪(3)检测待检测非球面(4)与补偿器(2)之间的光学间隔，所述光学间隔的偏差即为待检测非球面(4)顶点曲率半径的偏差。