熔丝类晶圆修调参数的方法

摘要

本发明的熔丝类晶圆修调参数的方法包括以下步骤：初始化变量β和i，创建临时数据文件；i＝i+1；判断i是否小于等于L，如果为是，执行下一步骤，如果为否，结束本批次熔丝类晶圆的参数修调；测量第i个集成电路参数的初始值Vinit_i；判断所述临时数据文件中保存的参数的修调值的个数是否等于N，如果为是，计算差值Vtrim_i，Vtrim_i＝Vinit_i-Vtarget+β，β＝Vtarget-Vave_i，Vave_i等于所述临时数据文件中N个参数的修调值的平均值，如果为否，计算差值Vtrim_i，Vtrim_i＝Vinit_i-Vtarget；选择修调理论值最接近差值Vtrim_i的熔丝组合作为要修整的熔丝组合，由熔断电路熔断相应的熔丝；测量第i个集成电路参数的修调值，并判断该参数的修调值是否符合要求；更新所述临时数据文件中的数据，返回上述i＝i+1的步骤。

主权项

一种熔丝类晶圆修调参数的方法，其特征在于，包括以下步骤：初始化变量β和i，创建临时数据文件：所述变量i表示本批次熔丝类晶圆中的第i个集成电路，i＝0，1，2，......，L，L为本批次熔丝类晶圆所包含的集成电路的总个数，所述临时数据文件用于保存集成电路修整熔丝后参数的修调值，所述变量β和i的初始化值都为0；i＝i+1；判断i是否小于等于L，如果为是，执行下一步骤，如果为否，结束本批次熔丝类晶圆的参数修调；测量第i个集成电路参数的初始值Vinit_i；判断所述临时数据文件中保存的参数的修调值的个数是否等于N，N取大于等于100而小于L的整数，如果为是，计算差值Vtrim_i，Vtrim_i＝Vinit_i‑Vtarg et+β，β＝Vtarg et‑Vave_i，Vave_i等于所述临时数据文件中N个参数的修调值的平均值，如果为否，计算差值Vtrim_i，Vtrim_i＝Vinit_i‑Vtarget，其中，Vinit_i为第i个集成电路参数的初始值，Vtarget为参数的目标值；选择修调理论值最接近差值Vtrim_i的熔丝组合作为要修整的熔丝组合，由熔断电路熔断相应的熔丝；测量第i个集成电路参数的修调值，并判断该参数的修调值是否符合要求；更新所述临时数据文件中的数据，返回上述i＝i+1的步骤。