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发明名称 DETECTING DEFECTS ON A WAFER
摘要 <p>Methods and systems for detecting defects on a wafer are provided.</p>
申请公布号 EP2396815(A2) 申请公布日期 2011.12.21
申请号 EP20100741683 申请日期 2010.02.10
申请人 KLA-TENCOR CORPORATION 发明人 HUANG, JUNQING;ZHANG, YONG;CHEN, STEPHANIE;LUO, TAO;GAO, LISHENG;WALLINGFORD, RICHARD
分类号 H01L21/66;G01N21/88;G01N21/95;G01N21/956 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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