一种台式一体化原子力显微镜

摘要

本实用新型涉及一种台式一体化原子力显微镜，包括主机和金属屏蔽隔音箱，金属屏蔽隔音箱内部下端设有电子控制系统，主机设在金属屏蔽隔音箱内的防震装置上，防震装置通过四根弹簧悬挂在金属屏蔽隔音箱内；主机的下端设有扫描器基座，扫描器基座前侧面的中上方设有精密二维调节装置，扫描器基座的顶端设有扫描器，扫描器的左右两侧对称设有粗调驱动装置，扫描器的后端设有微调驱动装置；主机上端设有探针头部，探针头部顶端的左右两侧分别设有四象限接收器二维调整机构和激光器二维调整机构，探针头部前侧面的中下部靠近边缘处设有探针模块。本实用新型的有益效果为：结构简单，使用方便；外界干扰对仪器工作影响小；具有原子与纳米级的分析能力。

主权项

一种台式一体化原子力显微镜，包括主机（1）和金属屏蔽隔音箱（2），其特征在于：所述主机（1）设在金属屏蔽隔音箱（2）内的防震装置（3）上，所述防震装置（3）通过四根弹簧悬挂在金属屏蔽隔音箱（2）内；所述主机（1）的下端设有扫描器基座（4），扫描器基座（4）前侧面的中上方设有精密二维调节装置（6），扫描器基座（4）的顶端设有扫描器（7），扫描器（7）的左右两侧对称设有粗调驱动装置（8），扫描器（7）的后端设有微调驱动装置（12）；主机（1）的上端设有探针头部（5），探针头部（5）通过微调驱动装置（12）和两个粗调驱动装置（8）支撑在扫描器基座（4）的上方，探针头部（5）顶端的左右两侧分别设有四象限接收器二维调整机构（10）和激光器二维调整机构（11），探针头部（5）前侧面的中下部靠近边缘处设有探针模块（9）。