功率射频耦合器

摘要

本实用新型公开了一种功率射频耦合器：转换馈头和耦合环，转换馈头和耦合环钎焊连接。其中，转换馈头包括导体外环、导体内环、过渡环、电极组件、陶瓷管、导体外环法兰、活套法兰和固定法兰；导体内环通过过渡环与电极组件相连接；陶瓷管包括第一端口和第二端口，第一端口与电极组件采用真空氢焊的方式连接，第二端口与导体外环法兰采用真空氢焊的方式连接。本实用新型的同轴线馈头转换部分在保持高真空度的同时，兼具极低射频损耗的特性；并且，本实用新型实现了谐振腔的输入阻抗的快速、方便调节。

主权项

一种功率射频耦合器，其特征在于，包括：转换馈头和耦合环，所述转换馈头和所述耦合环钎焊连接；其中，所述转换馈头包括导体外环、导体内环、过渡环、电极组件、陶瓷管和导体外环法兰；所述导体内环通过所述过渡环与所述电极组件相连接；所述陶瓷管包括第一端口和第二端口，所述第一端口与所述电极组件采用真空氢焊的方式连接，所述第二端口与所述导体外环法兰采用真空氢焊的方式连接。