发明名称 一种蓝宝石生长炉
摘要 本实用新型公开了一种蓝宝石生长炉,它包括真空炉壳、坩埚、加热装置、籽晶固定装置、惰性气体循环系统、真空装置;其中,加热装置位于真空炉壳的底部,坩埚置于加热装置包围的空间内;籽晶固定装置位于坩埚的正上方,用于固定籽晶;惰性气体循环系统为一个独立的气体循环系统,其底部与籽晶的顶部相接;真空装置与真空炉壳密闭连接。本实用新型解决了泡生法不易引晶以及晶体生长过程中晶体方向及长晶速率不易控制的缺陷,又克服了热交换法中晶体生长情况无法观测及能耗相对较高的缺点。
申请公布号 CN202081191U 申请公布日期 2011.12.21
申请号 CN201120170305.9 申请日期 2011.05.25
申请人 吕铁铮 发明人 吕铁铮
分类号 C30B29/20(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I 主分类号 C30B29/20(2006.01)I
代理机构 成都高远知识产权代理事务所(普通合伙) 51222 代理人 李高峡
主权项 一种蓝宝石生长炉,其特征在于:它包括真空炉壳(1)、坩埚(2)、加热装置(3)、籽晶固定装置(6)、惰性气体循环系统(10)、真空装置(11);其中,加热装置(3)位于真空炉壳(1)的底部,坩埚(2)置于加热装置(3)包围的空间内;籽晶固定装置(6)位于坩埚(2)的上方,用于固定籽晶(7);惰性气体循环系统(10)为一个独立的气体循环系统,位于籽晶固定装置(6)的上方;真空装置(11)与真空炉壳(1)密闭连接。
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